以共聚焦技術為原理，用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的VT6000共聚焦顯微鏡，可對材料樣品的表面形貌直接進行成像，橫向分辨率可達1nm，Z軸分辨率可達0.5nm。不僅可對樣品表面形貌進行測量，提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能，還提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。

其中粗糙度分析包括依據標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數分析功能；幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能；結構分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數和體積參數等功能。

VT6000共聚焦顯微鏡的構造組成主要包括：顯微鏡、激光光源、掃描裝置、檢測器、計算機系統(包括數據采集，處理，轉換，應用軟件)、圖像輸出設備、光學裝置和共聚焦系統。

功能

在陶瓷、金屬、半導體、芯片等材料科學及生產檢測領域中，共聚焦顯微鏡有著廣泛的應用。以共聚焦顯微技術為原理的共聚焦顯微鏡，對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，從而獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，實現器件表面形貌3D測量。

可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。對各種產品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。