3D形貌地圖配合色譜圖，非常直觀；但橫向測試范圍，縱向高度尺度也很關鍵。在超精密加工中，3D AOI（自動光學檢測）是對傳統精密加工上的升級，彌補了傳統 AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷，改進設備性能以滿足各大電子廠對質量和產品能得雙重要求。

中圖儀器基于白光干涉原理而研發生產的SuperView W1 光學3d輪廓儀，能以非接觸的方式，無損檢測精密機械加工表面；檢測結果以3D數據地圖的方式顯示，直觀地展示了表面紋理特征。

光學系統基于無限遠顯微鏡系統，通過干涉物鏡產生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統變為光學3D表面輪廓儀。除了負責產生干涉條紋，各類干涉物鏡還決定了系統許多關鍵性能，比如光學分辨率、工作距離、齊焦距離、坡度能力、視場范圍等等。數秒內，可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。

SuperView W1 光學3d輪廓儀特征

1、高垂直分辨率，強大的測量性能；

3、任何倍率下亞埃級至毫米級垂直測量量程；?

4、*的測量硬件，可靠性和重復性的保證；防振系統；?

5、提高三維表面測量和分析速度數據處理速度和分析速度的多核處理器軟件；

6、數據無縫拼接能力；

7、三維光學輪廓儀高度直觀的用戶界面，擁有業界的實用性，操作簡便和分析功能強大優化的用戶界面大大簡化測量和數據分析過程；*的可視化操作工具；可自行設置數據輸出的界面，微納米三維形貌一鍵測量。

技術指標

標準配置

中圖儀器，歷經了十多年的技術積累和發展實踐，除了Super View系列白光干涉儀，還有SJ2000系列指示表自動檢定儀、SJ5100系列高精度測長機、SJ6000系列激光干涉儀、GT系列激光跟蹤儀等眾多測量、計量設備。從納米到百米為用戶提供專業的精密測量解決方案！