激光干涉儀是高精度線性位移測量儀器，目前市場上的干涉儀產品大多為激光干涉儀。產生激光的方法主要是利用塞曼效應和聲光調制。一些產品激光頻差達到20MHz以上。聲光調制方法的頻率穩(wěn)定性非常好，可以利用鎖相放大器處理信號；缺點是穩(wěn)頻、調制、合光等環(huán)節(jié)使得光學結構復雜，調整困難，成本偏高。

SJ6000國產激光干涉儀器采用氦氖激光器作為光源。其精度高，扛擾力強，空氣湍流、熱波動等影響甚微，因此降低了對環(huán)境條件的要求，使它不僅能用于實驗室，還可在車間條件下測量大距離用。

· 采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；

· 采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；

· 采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；

· 采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；

· 采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。

SJ6000國產激光干涉儀器結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下，還可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。

在機床行業(yè)，激光干涉儀是一個非常重要的工具，常用于數(shù)控機床精度檢測和補償。